凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片)接觸大氣的清潔度和溫濕度,使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間生產(chǎn)制造,我們稱之為凈化。離子車間。根據(jù)國際慣例,無塵凈化水平主要由每立方米空氣中粒徑大于隔斷標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)決定。就是說,所謂的無塵不是....沒有灰塵,而是控制在一個(gè)非常小的單位。當(dāng)然,本標(biāo)準(zhǔn)中的塵粒相對(duì)于我們常見的粉塵來說是很微小的,但是對(duì)于光學(xué)建筑來說,即使是很小的粉塵也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)建筑產(chǎn)品的生產(chǎn)中,清潔車間的無塵是必然的要求。
粒徑小于0.3微米/立方米的塵粒數(shù)控制在3500以下,符合我國無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前,芯片級(jí)生產(chǎn)和加工中采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)高,這種高標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于一些高級(jí)別的芯片生產(chǎn)。5微米以下的微塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000粒以內(nèi),工業(yè)上又稱1K級(jí)。
凈化車間結(jié)構(gòu)材料組成:
1。凈化廠的墻體和屋頂通常采用50 mm厚的夾心彩鋼板,具有外形美觀、剛性強(qiáng)的特點(diǎn)?;⌒谓?、門、窗框等一般由特殊氧化鋁型材制成。
2。地面可采用環(huán)氧自流平地板或高檔耐磨塑料地板。如有防靜電要求,可選用防靜電型。
3。供回風(fēng)管道采用熱浸鋅板,粘貼阻燃酚醛泡沫塑料板,凈化保溫效果好。
4。高效送風(fēng)口采用不銹鋼框架,美觀潔凈,多孔網(wǎng)板烤漆鋁板,不生銹,無粘塵,適合清洗